PV200シリーズ　スマートエッジ円の検査領域・マスク領域

● スマートエッジ円では、検査領域の一部分を検査の対象外にできます。


＜ご参考＞
　・スマートエッジ円の検査領域は、セルが有る部分のみです。　セルの間は検査しません。