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変位センサの精度の考え方

ID:
5914
公開:
2014年07月24日
更新:
2016年01月06日

変位センサの精度はどれくらいですか?

回答

お客様の使われ方、対象物で変化します。

仕様値にある分解能だけでは表すことが出来ません。

 

精度の中には

『分解能』 『直線性』 『温度特性』 『面精度』 『角度特性』 が内包されています。

真の値に対しての誤差とも言えます。

 

あくまでも分解能は精度を表す目安とお考えください。

 

例)HL-G105-A-C5の場合

  精度40μm程度になります。

 

①分解能…1.5μm(応答時間500ms)

 サンプリング周期:500μs 平均回数:1024回 測定中心距離:50mm 対象物体白セラミック

 検出時間が500μsより短い場合や平均回数が少ない場合は分解能は落ちます。

 

②直線性 …±0.1%F.S.  =20mm×0.1% =±0.02mm =±20μm

 測定範囲が±10mmですのでフルスケールで20mmになります。

 

③温度特性…±0.08%F.S./℃=20mm×0.08%=±0.016mm=±16μm

 1℃温度が変わる毎に16μm変動します。

 温度が5℃振れると80μm変動すると言うことになります。

 

 (±)1.5 + (±)20 + (±)16 = -37.5~+37.5μm  

表面の粗さ、角度特性はお客様のワーク、使われ方ですので今回は割愛します。

 

お客様の選定の際の目安としてください。

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